中国光刻胶领域实现重大突破,首次合成高精度微观三维全景照片,分辨率优于5nm
中国光刻胶领域取得重大突破,成功合成微观三维全景照片,其分辨率优于5纳米,这一技术成果将为微电子制造领域带来革命性变革,有望提高芯片制造的精度和效率,此次突破不仅展示了中国在光刻胶领域的实力,也标志着中国在微电子制造领域迈出了重要的一步。10月26日,我国在光刻胶研究领域迎来重要进展!
据《科技日报》报道,北京大学化学与分子工程学院彭海琳教授团队及其合作者,创新性地采用冷冻电子断层扫描技术,首次在液相环境中实现了对光刻胶分子微观三维结构、界面分布及缠结行为的原位解析,并...